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產品介紹

壓電位移平台
壓電位移平台
主要特點:
1. 超高解析、高速即時回饋、
2. 可靠度高的重現性
3. 高共振頻率
4. 優異的結構剛性,提供系統穩定性能
5. 台灣研發製造,高品質,即時售後服務。
概觀

電感式​系列


使用電感式感測元件作為位置資訊回饋核心。在提供實用地定位解析度的同時具備更加緊緻的體積, 更優異的環境耐受性以及

極具競爭力的價格。本產品適用於各種需要精密定位、微奈米級運動操控的應用並可使用於一般真空環境中。

 

Picture

 

線性平台

電感式的壓電線性平台提供4種不同的運動行程,分別為20、28、36以及44毫米(mm),​最大負載為4公斤(kg)並具備37奈米(nm)之解析度。

 

垂直平台

電感式的壓電垂直平台提供10毫米(mm)的運動行程,​最大負載為150克(g)並具備37奈米(nm)之解析度

 

 

 

 

技術規格

線性平台

機械特性

最大負載
4 公斤
最大軸向負載
150 克
導引形式
交叉滾柱滑軌
​​俯仰角
​±200 µrad
擺角
​±100 µrad

 

運動特性

最高速度
10 mm/s
​10 mm/s
編碼器
開迴路
閉迴路
編碼器解析度
N/A
37 nm
最小步進量
N/A
150 nm
雙向重覆定位精度
N/A
300 nm
 
選配功能
材質
陽極鋁合金(標配) ; 不鏽鋼
真空
大氣(標配) ; 真空 (1E-6 mbar)​
原點功能
行程限制功能
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