主要特點:
1. 超高解析、高速即時回饋、
2. 可靠度高的重現性
3. 高共振頻率
4. 優異的結構剛性，提供系統穩定性能
5. 台灣研發製造，高品質，即時售後服務。
產品介紹
壓電位移平台
概觀
電感式系列
使用電感式感測元件作為位置資訊回饋核心。在提供實用地定位解析度的同時具備更加緊緻的體積, 更優異的環境耐受性以及
極具競爭力的價格。本產品適用於各種需要精密定位、微奈米級運動操控的應用並可使用於一般真空環境中。
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線性平台電感式的壓電線性平台提供4種不同的運動行程，分別為20、28、36以及44毫米(mm)，最大負載為4公斤(kg)並具備37奈米(nm)之解析度。 |
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電感式的壓電垂直平台提供10毫米(mm)的運動行程，最大負載為150克(g)並具備37奈米(nm)之解析度
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技術規格
線性平台機械特性
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運動特性
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選配功能
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材質
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陽極鋁合金(標配) ; 不鏽鋼
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真空
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大氣(標配) ; 真空 (1E-6 mbar)
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原點功能
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有
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行程限制功能
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有
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