主要特點:
1. 大尺寸掃描-----可量測最大樣品至12吋
2. 程式化電動控制樣品台
3. 最高性價比
4. 高剛性設計及防震系統----任何時間、地點皆可輕鬆量測
5. 快速、精準取得奈米表面特徵----五分鐘內可以獲取高解析影像
目的:
提供三維表面形態影像，包括表面粗糙度、粒徑大小、高度差和間距
品牌: FSM
型號: LS-AFM
產品介紹
工業型自動化AFM
概觀
最直覺、快速高性價比的工業型AFM，
4吋-12吋樣品無需破壞直接上機檢測，
設定座標自動定位，讓您方便輕鬆量測，
產品研發、品質把關的最佳利器!
Alumina Al₂O₃
STO film 
ITO film
產品特點:
1. 提供 6 吋或 12 吋樣品量測使用，無樣品重量限制。
2. 超大行程二維電動樣品移動台，快速針對需要量測的位置輸入座標後自動定位下針。
3. 龍門架構掃描器設計，附大理石底座，真空吸附式載物台。
4. 馬達控制及壓電陶瓷掃描器自動偵測的進針方式，有效保護探針及樣品。
5. 自動光學定位，無需調焦，隨時觀測與定位探針樣品掃描區域。
6. 性價比最高之大載台工業型 AFM
優點 |
應用領域 |
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1. 可定量表面形貌特徵(粗糙度、長寬高) 2. 非破壞檢測方式 3. 高空間解析度 4. 導體或絕緣體皆可成像 5. 一般大氣環境即可量測 6. 高度(厚度)量測精準度高 |
1. 航太工業 2. 生物醫學/生物技術 3. 化合物半導體 4. 資料存儲 5. 顯示器 |
6. 電子領域 7. 太陽能 8. 高分子聚合物 9. 半導體 10. 光電行業 |
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應用案例：
1. 評估晶片處理前後的差異(SiO2, GaAs, SiGe等)
2. 確定生物醫學設備的處理效果(例如電漿處理)，如隱形眼鏡、導管和塗層支架
3. 檢查表面粗糙度對附著力的影響
4. 評估圖案晶圓的溝槽形狀與清潔度
分析項目:
1. 鍍膜分析: 粗糙度分析、膜厚分析、孔洞大小分析
2. 奈米材料分析: 粒徑分析、分散性分析
3. 可將表面結構轉換成3D 影像，更能了快速解材料結構形貌。
4. 材料表面彈性分佈、摩擦力分佈、電荷分佈、磁區分佈分析等。
實機照片:
技術規格
設備規格:
基本模式 : Tapping, Contact。選配 :Phase, MFM, EFM, LFM
掃描速率 : 0.6Hz~4.34Hz
力圖曲線 : F-Z 曲线、RMS-Z 曲线
掃描角度 : 0~360°
選配模式 : Profile 線快速测量模式
操作系統 : Windows XP/7/8/10 操作系统
掃描範圍 : XY: 50um，Z: 5um
通信方式 : USB2.0/3.0
掃描器解析度 : XY: 0.2nm，Z: 0.05nm
防震設計: 氣浮式防震台/金屬隔音箱
樣品尺寸: Φ=150mm(6吋)、300mm(12吋)，H<20mm
設備尺寸: 800×600×500mm
設備重量: 150Kg
樣品移動範圍: 300×300mm
光學顯微鏡規格 10X 物镜/1um 解析度