首頁 » 產品介紹 » 白光干涉儀+共軛焦顯微鏡(入門款)

產品介紹

白光干涉儀+共軛焦顯微鏡(入門款)
白光干涉儀+共軛焦顯微鏡(入門款)
主要特點:        
1. 五秒內取得微奈米表面特徵:3D表面輪廓,粗糙度,膜厚等資訊
2. 業界最小掃描頭僅 “90mm” 寬度,產線上也可使用
3. 最高CP王:買白光干涉儀送共軛焦顯微量測功能
4. 極佳的垂直重複性與解析度
5. 半導體大廠指定採用及認可

目的:
提供三維表面形態影像,包括表面粗糙度、粒徑大小、高度差和間距

品牌: Sensofar
型號: Smart 2
概觀

僅一個手掌的寬度

喝一口咖啡的時間

唯一不浪費的選擇

插上筆電即可量測

全球領導品牌 Sensofar心血之作!

S m a r t 2 

如此簡單,您怎能不心動!

完美結合白光干涉儀+共軛焦顯微鏡 二合一的全方位檢測設備,

喝一口咖啡即可獲取精準的3D表面形貌,粗糙度,與膜厚訊息。

 


What kind of design can be called lightweight?

 

What kind of design can be called convenient?

 

Perhaps

 

Need to wait for you to experience it yourself

 

 

 

 

 

技術規格

 Objective lenses

 

   Brightfiel

MAG

5X

10X

20X

50X

100X

NA

0.15

0.30

0.45

0.80

0.90

WD (mm)

20

15.8

3.0

1.0

2.00

FOV1 (µm)

2820 x 2820

1410 x 1410

700 x 700

280 x 280

141 x 141

Spatial sampling2 (µm)

2.76

1.38

0.69

0.27

0.07

Optical resolution3 (µm)

1.11

0.55

0.37

0.21

0.15

Measurement noise4 (nm)

120

45

10

4

3

Maximum slope5 (º)

9

17

27

53

64

 

Interferometry

 

MAG

2.5X

5X

10X

20X

50X

100X

NA

0.075

0.13

0.30

0.40

0.55

0.70

WD (mm)

10.3

9.3

7.4

4.7

3.4

2.0

FOV1 (µm)

5650 x 5650

2820 x 2820

1410 x 1410

700 x 700

280 x 280

140 x 140

Spatial sampling2 (µm)

5.52

2.76

1.38

0.69

0.27

0.07

Optical resolution3 (µm)

2.32

1.34

0.58

0.44

0.32

0.25

System noise4 (nm)

< 5

Maximum slope5 (º)

17 

24

33

44

 

 

 


如對此產品有任何技術上之問題或委測需求,歡迎來電: 02-2793-3133 或MAIL至 david.chang@utekmaterial.com

我們將為您提供最即時的諮詢與技術服務。

Top