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產品介紹

高性價比/桌上型AFM
高性價比/桌上型AFM
主要特點:        
1. 快速、精準取得奈米表面特徵----五分鐘內可以獲取高解析影像
2. 操作直覺,快速上手---從開機到開始掃描不到5分鐘
3. 最高性價比---市售他牌1/2價格不到 (NTD100萬內即可擁有)
4. 高剛性設計及防震系統----任何時間、地點皆可輕鬆量測
5. 一級研究單位指定採用及認可

目的:
提供三維表面形態影像,包括表面粗糙度、粒徑大小、高度差和間距

品牌: FSM
型號: Nanoview1000、Nanoview2000
概觀
初學者能於三分鐘內完成所有設定,5-10分鐘左右即可得到一張可放置於paper上的高解析圖像,
 
眾多一級研究單位指定認可使用。
 
四大特點:
 
1. 效能卓越、穩定性高,媲美百萬級進口品牌
 
2. 高防震性能,且無需額外購置光學防震桌,任何時間、地點皆可測試
 
3. 操作極便利,快速上機操作,無需專人維護操作
 
4.  價格極親民,較無負擔擁有
 
5. 另可擴充液態模組、氣氛及控溫模組
 

 

運作原理:

探針是由一個針尖附在一支橫桿前端所組成,探針尖端與樣品表面接觸時,由於橫桿彈性係數和原子間的作用力相當,因此探針尖端的原子與樣品表面原子的作用力便會使橫桿在垂直力方向移動,作用力來源包括探針和表面的凡得瓦力(Van der Waals force)與探針和表面的外層電子之間的庫倫排斥力。

所以樣品的表面高低起伏造成橫桿作上下偏移。而具有三軸位移能力的壓電材料掃描器(piezoelectric scanner)使樣品能在選定的區域範圍做來回掃瞄,偵測橫桿偏移量,系統的回饋電路與壓電材料掃描器在高度軸上距離微調功能結合,藉由調整探針與樣品距離,以維持掃描過程中固定的原子,所以當AFM掃描一個區域,便把垂直微調距離,以二維內函數儲存起來,形成所謂掃描區域的原子力圖像,這通常對應於掃描區域表面高低起伏的影像,也稱高度影像。

 

運作原理影片參考:  https://www.youtube.com/watch?v=s6KqJS1GZNE


優點

 

應用領域

1. 可定量表面形貌特徵(粗糙度、長寬高)

2. 非破壞檢測方式

3. 高空間解析度

4. 導體或絕緣體皆可成像

5. 一般大氣環境即可量測

6. 高度(厚度)量測精準度高

 

1.  航太工業

2.  生物醫學/生物技術

3.  化合物半導體

4.  資料存儲

5.  顯示器

6.  電子領域

7.  太陽能

8.  高分子聚合物

9. 半導體

10. 光電行業

 

應用案例:

1. 評估晶片處理前後的差異(SiO2, GaAs, SiGe等)

2. 確定生物醫學設備的處理效果(例如電漿處理),如隱形眼鏡、導管和塗層支架

3. 檢查表面粗糙度對附著力的影響

4. 評估圖案晶圓的溝槽形狀與清潔度

 

分析項目:

1. 鍍膜分析: 粗糙度分析、膜厚分析、孔洞大小分析

2. 奈米材料分析: 粒徑分析、分散性分析

3. 可將表面結構轉換成3D 影像,更能了快速解材料結構形貌。

4. 材料表面彈性分佈、摩擦力分佈、電荷分佈、磁區分佈分析等。

 

實際測試結果 

石墨烯(Graphene)與石墨台階

 
技術規格

標準工作模式:Contact mode(接觸模式),Tapping mode(輕敲/半接觸模式)

選配模式:LFM mode 摩擦/側向力,Phase mode 振幅/相位,MFM mode 磁力和 EFM mode 靜電力分布量測

配件選擇 : 液態模組、控溫模組、通氣氛模組

樣品尺寸:Φ≤90mm,H≤20mm

掃描範圍:XY至20um,Z至2um(另可選配或加購 XY至10um、50um或100um,Z至1um、5um或10um 之掃描器)

掃描解析度:XY至0.2nm,Z至0.05nm

樣品移動範圍:0〜13mm

光學倍率4X,光學解析度2.5um

掃描速度: 0.6Hz〜4.34Hz,掃描角度0〜360°

掃描控制:XY使用18位元D / A,Z使用16位元D / A

附高效能懸吊防震系統

附防潮、隔音箱體

 

 


如對此AFM有何技術上之問題或委測需求,歡迎來電: 02-2793-3133 或MAIL至 david.chang@utekmaterial.com

我們將為您提供最即時的諮詢與技術服務。

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