主要特點:
1. 五秒內取得微奈米表面特徵：3D表面輪廓，粗糙度，膜厚等資訊
2. 業界最小掃描頭僅 “90mm” 寬度，產線上也可使用
3. 高性價比：白光干涉儀與共軛焦顯微量測二合一 ＝ 市場單一功能的價格
4. 極佳的垂直重複性與解析度
5. 半導體大廠指定採用及認可
目的:
提供三維表面形態影像，包括表面粗糙度、粒徑大小、高度差和間距
品牌: Sensofar
型號: Smart 2
產品介紹
白光干涉儀+共軛焦顯微鏡(入門款)
概觀
僅一個手掌的寬度
喝一口咖啡的時間
唯一不浪費的選擇
插上筆電即可量測
全球領導品牌 Sensofar心血之作！
Ｓ m a r t 2
如此簡單，您怎能不心動！
完美結合白光干涉儀＋共軛焦顯微鏡 二合一的全方位檢測設備，
喝一口咖啡即可獲取精準的3D表面形貌，粗糙度，與膜厚訊息。
What kind of design can be called lightweight?
What kind of design can be called convenient?
Perhaps
Need to wait for you to experience it yourself
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技術規格
Objective lenses
Brightfiel
|
MAG |
5X |
10X |
20X |
50X |
100X |
|---|---|---|---|---|---|
|
NA |
0.15 |
0.30 |
0.45 |
0.80 |
0.90 |
|
WD (mm) |
20 |
15.8 |
3.0 |
1.0 |
2.00 |
|
FOV1 (µm) |
2820 x 2820 |
1410 x 1410 |
700 x 700 |
280 x 280 |
141 x 141 |
|
Spatial sampling2 (µm) |
2.76 |
1.38 |
0.69 |
0.27 |
0.07 |
|
Optical resolution3 (µm) |
1.11 |
0.55 |
0.37 |
0.21 |
0.15 |
|
Measurement noise4 (nm) |
120 |
45 |
10 |
4 |
3 |
|
Maximum slope5 (º) |
9 |
17 |
27 |
53 |
64 |
Interferometry
|
MAG |
2.5X |
5X |
10X |
20X |
50X |
100X |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
NA |
0.075 |
0.13 |
0.30 |
0.40 |
0.55 |
0.70 |
|
WD (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
|
FOV1 (µm) |
5650 x 5650 |
2820 x 2820 |
1410 x 1410 |
700 x 700 |
280 x 280 |
140 x 140 |
|
Spatial sampling2 (µm) |
5.52 |
2.76 |
1.38 |
0.69 |
0.27 |
0.07 |
|
Optical resolution3 (µm) |
2.32 |
1.34 |
0.58 |
0.44 |
0.32 |
0.25 |
|
System noise4 (nm) |
< 5 |
|||||
|
Maximum slope5 (º) |
4 |
7 |
17 |
24 |
33 |
44 |
如對此產品有任何技術上之問題或委測需求，歡迎來電: 02-2793-3133 或MAIL至 david.chang@utekmaterial.com
我們將為您提供最即時的諮詢與技術服務。